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Wed, 05 Nov 2025 06:50:56 +0000

钙钛矿蒸镀设备

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高集成设计,灵活性好,兼容性高

自动蒸镀控制系统实现全自动工艺

高均匀性蒸发源、双源共蒸、高精度膜厚监控、防腐蚀性技术

膜厚均匀性高，重复性强,速率稳定

蒸镀腐蚀性钙钛矿材料，对材料限制性低

蒸镀器件效率高,寿命长,

满足顶发射器件制备要求

占地面积小,使用成本低,维护成本低,性价比高

产品优势

模块化

均匀沉积

高精度膜厚监控

多源共蒸

工艺灵活

紧凑

技术参数

HCEB

型号 | HCEB
基板尺寸 | ≤300×300mm，数量4片
应用 | 钙钛矿太阳电池/OLED/LED等光电器件
抽速 | 大气压至1.5×10₋₃Pa≤30min
极限真空度 | 8.0×10₋₅Pa
蒸发源 | 8组蒸发源，可实现双源共蒸，可配电子束蒸发系统
mask | 每个基片可配不同mask
膜厚控制仪 | 晶控

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