磁控溅射光学镀膜设备

fangwen1
Tue, 08 Apr 2025 15:49:59 +0000

抗反射和颜色膜

AR 膜（基材玻璃透过率＞91.5%）：
■? 420-680nm波段，单面平均透过率＞95%，反射率小于0.5（平均值）% ；
■? 双面平均透过率＞98%，反射率小于0.5（平均值）%；

颜色膜或渐变色膜：
■? 以客户样板为准，连续五炉随机位置装片或满炉，颜色色差ΔE<1.2；
■? 水煮测试：水煮 80℃30min，3M 百格测试（1*1mm）后大于 4B。

产品优势

紧凑

占地面积。子诩傻焦こ

专利技术

STGJ.CG胜天国际自主研发离子源

精准

精确监控膜厚

低温技术

小于70℃低温状态成膜

自动化

自动调节气体流量

简单

易于操作和维护

先进配置

旋转阴极装置与行内普通平面靶装置相比靶材使用周期与利用效率显著提高；可客制化的基板工件架结构定制，给客户产品摆放达到最大的利用空间；全自动一体的提拉升降的转架装置，大幅度减少机器开关门时间，大大提高了生产效率与工艺稳定性；STGJ.CG胜天国际专利离子源具有工作范围广能量均衡，高离化率，超稳定工作效率，低耗能等特点。

可利用时间精准控制薄膜厚度，达到设计工艺要求，节省晶控，光控环节，为客户省去大量的膜厚仪耗材；可生产高折射率氮化薄膜，提高薄膜硬度性能；低温成膜，可应对各种用途；自动调节气体流量专利装置，保持稳定的靶电压，保证成膜品质；可选“校正板外部调节机构”。

溅射沉积系统在侧壁上装有多个圆柱形靶材，以提高沉积速率和多层涂层，该系统配备有直流脉冲或射频功率圆形阴极，垂直安装的基板和圆柱形阴极可最大程度地减少涂层过程中的颗粒污染。

技术参数

HCSO-2100 HCSO-1800 HCSO-1300

规格
型号 | HCSO-2100
镀膜区域 | Φ2100x H1200mm
结构 | 立式前开门，SUS304不锈钢
性能
转速 | 10~100RPM（可变）
成膜室抽速 | 3.0×10-3Pa≤30min
极限真空度 | 1.0×10-4Pa
溅射靶材 | Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5 …
主要配置
夹具系统 | 底部中心旋转公转机构 / 整体进出或挂板分拆
排气系统 | 机械泵 + 罗茨泵 + 分子泵 + 低温泵 / Polycold
真空控制系统 | 真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计
镀膜系统 | DC/MF磁控溅射源+ DC/ICP等离子体源 + 阻抗式蒸发源 / 在线AF/AS蒸发源
充气系统 | MFC或APC自动压强控制仪
膜厚控制仪 | 晶控或光控
控制系统 | PC+PLC
应用
光学薄膜应用 | AR、AS/AF、NCVM、硬质膜、装饰膜、HR膜等
适用波长 | 380nm~780nm
注：可客制化（数据仅供参考） | ?
适用波长 | 300nm~780nm
注：可客制化（数据仅供参考）

规格
型号 | HCSO-1800
镀膜区域 | Φ1800x H1400mm
结构 | 立式前开门，SUS304不锈钢
性能
转速 | 10~100RPM（可变）
成膜室抽速 | 3.0×10-3Pa≤30min
极限真空度 | 1.0×10-4Pa
溅射靶材 | Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5 …
主要配置
夹具系统 | 底部中心旋转公转机构 / 整体进出或挂板分拆
排气系统 | 机械泵 + 罗茨泵 + 分子泵 + 低温泵 / Polycold
真空控制系统 | 真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计
镀膜系统 | DC/MF磁控溅射源+ DC/ICP等离子体源 + 阻抗式蒸发源 / 在线AF/AS蒸发源
充气系统 | MFC或APC自动压强控制仪
膜厚控制仪 | 晶控或光控
控制系统 | PC+PLC
应用
光学薄膜应用 | AR、AS/AF、NCVM、硬质膜、装饰膜、HR膜等
适用波长 | 380nm~780nm
注：可客制化（数据仅供参考）

规格
型号 | HCSO-1300
镀膜区域 | Φ1300x H700mm
结构 | 立式前开门，SUS304不锈钢
性能
转速 | 10~100RPM（可变）
成膜室抽速 | 3.0×10-3Pa≤30min
极限真空度 | 1.0×10-4Pa
溅射靶材 | Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5 …
主要配置
夹具系统 | 底部中心旋转公转机构 / 整体进出或挂板分拆
排气系统 | 机械泵 + 罗茨泵 + 分子泵 + 低温泵 / Polycold
真空控制系统 | 真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计
镀膜系统 | DC/MF磁控溅射源+ DC/ICP等离子体源 + 阻抗式蒸发源 / 在线AF/AS蒸发源
充气系统 | MFC或APC自动压强控制仪
膜厚控制仪 | 晶控或光控
控制系统 | PC+PLC
应用
光学薄膜应用 | AR、AS/AF、NCVM、硬质膜、装饰膜、HR膜等
适用波长 | 380nm~780nm
注：可客制化（数据仅供参考） | ?