大型电子束蒸发光学镀膜设备

fangwen1
Tue, 08 Apr 2025 16:03:31 +0000

?蒸镀AR / AF涂层
?生产能力更强
?生产成本更低
?全自动化功能以及完整的数据记录功能
?光学监控提高过程的可重复性

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该系列的开发是为了满足面向大规模生产的市场需求，设备经过生产验证，高生产率，最低的拥有成本大批量光学元件成本优化生产。

可制备AR、UV/IR截止滤光片、AF、硬质膜、装饰膜、ITO膜 、带通滤光片、HR膜等。

配备电子枪、穴型、腰型或环形坩埚，阻抗式蒸发源;

配置光学膜厚控制仪或石英晶体膜厚控制仪，可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制;

可选射频RF/考夫曼型/霍尔型离子源。

抗反射膜

AR 膜（基材玻璃透过率＞91.5%）：
■? 420-680nm波段，单面平均透过率＞95%，反射率小于0.5（平均值）% ；
■? 双面平均透过率＞98%，反射率小于0.5（平均值）%；

AS/AF膜测试标准：
■? ?初始接触角范围为 115±5°；
■? ?钢丝绒耐摩擦测试标准：用 0000#钢丝绒，面积为 10*10mm,行程 40 次/分，负载1Kg，5000 次往返摩擦后，接触角大于 100°；
■? ?橡皮擦测试标准： 直径 6mm 橡皮擦，行程 25 次/分，负载1Kg， 2500 次往返摩擦后，接触角大于 100°；
备注：测试样片玻璃需为经过精密抛光过的触摸屏盖板专用玻璃，表面光洁。

产品优势

高产量

满足规模生产的市场需求

客制化

满足客户需求的多种元件组合

简单

易于操作和维护

通用

高性能、高通用性

自动化

自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

远程访问

提供工厂远程诊断

技术参数

HCEB-2700 HCEB-2350

规格
型号 | HCEB-2700
腔体尺寸 | Φ2700 x H1850
装载量 | 5.3 m2
结构 | 立式前开门，SUS304不锈钢
性能
转速 | 10~30RPM（可变）
抽速 | 大气压至2.0×10-3Pa≤30min
极限真空度 | 1.0×10-4Pa
膜料 | TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn…
主要配置
夹具系统 | 中心上旋转伞架，自动翻转，单体或分体
加热系统 | 卤素灯 / 铠装加热器，最高250℃
排气系统 | 低真空泵组 + 高真空泵组 + 低温泵 / Polycold
真空控制系统 | 真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计
镀膜系统 | 电子枪，穴型、腰型/环形坩埚，阻抗式蒸发源，射频/考夫曼型/霍尔型离子源
充气系统 | MFC或APC自动压强控制仪
膜厚控制仪 | 晶控或光控
控制系统 | PC+PLC
应用
光学薄膜应用 | AR、AS/AF、硬质膜、装饰膜、ITO膜 、HR膜等
适用波长 | 380nm~780nm
注：可客制化（数据仅供参考）

规格
型号 | HCEB-2350
腔体尺寸 | Φ2350 x H1510
装载量 | 3.8 m2
结构 | 立式前开门，SUS304不锈钢
性能
转速 | 10~30RPM（可变）
抽速 | 大气压至2.0×10-3 Pa≤30min
极限真空度 | 1.0×10-4 Pa
膜料 | TiO2,Ti 3 O 5,H 4,ZrO 2,ZnS,Al 2 O 3,MgF 2,SiO 2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn…
主要配置
夹具系统 | 中心上旋转伞架，自动翻转，单体或分体
加热系统 | 卤素灯 / 铠装加热器，最高250℃
排气系统 | 低真空泵组 + 高真空泵组 + 低温泵 / Polycold
真空控制系统 | 真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计
镀膜系统 | 电子枪，穴型、腰型/环形坩埚，阻抗式蒸发源，射频/考夫曼型/霍尔型离子源
充气系统 | MFC或APC自动压强控制仪
膜厚控制仪 | 晶控或光控
控制系统 | PC+PLC
应用
光学薄膜应用 | AR、AS/AF、硬质膜、装饰膜、ITO膜 、HR膜等
适用波长 | 380nm~780nm