装饰多弧离子镀真空镀膜设备 —低成本 高产量

fangwen1
Tue, 08 Apr 2025 14:20:07 +0000

—低成本 高产量

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该设备可用于沉积TiN（氮化钛）、TiC（碳化钛）、ZrN（氮化锆）、CrN（氮化铬）、镍、铬、铜等金属膜层及其他化合物薄膜。同时支持多层超硬涂层、多元复合薄膜及金色氮化钛涂层制备。

广泛应用于汽车轮毂、高尔夫球杆、手表、五金件、灯具、眼镜架、陶瓷、玻璃等产品的装饰性镀膜，以及工具模具的超硬涂层处理。

应用领域

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产品优势

一致性

整个腔室中均匀的镀膜沉积速率

高效

沉积速度快、离化率高、产量大

简单

易于操作与维护

低成本

单件镀膜成本低

远程访问

提供工厂远程诊断

环保

绿色生产，无污染产生

技术参数

HCCA-1215 HCCA-1618 HCCA-1619 HCCA-1820

型号 | HCCA-1215
真空室尺寸 | Ф1200×H1500mm
制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等
电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶
真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统
真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵
加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热
充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路）
极限真空 | 6×10₋₄pa（空载、净室）
抽气时间 | 空载大气抽至5×10₋₃pa小于13分钟
保压率 | 1h≤0.6pa
工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分
控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC
备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

型号 | HCCA-1618
真空室尺寸 | Ф1600×H1800mm
制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等
电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶
真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统
真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵
加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热
充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路）
极限真空 | 6×10₋₄pa（空载、净室）
抽气时间 | 空载大气抽至5×10₋₃pa小于13分钟
保压率 | 1h≤0.6pa
工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分
控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC
备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

型号 | HCCA-1619
真空室尺寸 | Ф1600×H1900mm
制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等
电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶
真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统
真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵
加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热
充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路）
极限真空 | 6×10₋₄pa（空载、净室）
抽气时间 | 空载大气抽至5×10₋₃pa小于13分钟
保压率 | 1h≤0.6pa
工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分
控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC
备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

型号 | HCCA-1820
真空室尺寸 | Ф1800×H2000mm
制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等
电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶
真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统
真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵
加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热
充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路）
极限真空 | 6×10₋₄pa（空载、净室）
抽气时间 | 空载大气抽至5×10₋₃pa小于13分钟
保压率 | 1h≤0.6pa
工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分
控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC