高端卫浴真空镀膜设备

fangwen1
Tue, 08 Apr 2025 15:04:50 +0000

该系列设备采用阴极电弧离子镀膜技术和磁控溅射技术、脉冲偏压技术结合在同一镀膜机上，这种模式已成为当前五金类离子镀膜主流技术。

它既可以单独用电弧或单独用磁控溅射镀膜，也可以利用两种技术的优点在镀膜过程不同阶段发挥作用，比如在镀膜初始利用电弧的高能粒子轰击清洗和打底层，以增强膜/基结合力；随后用中频溅射镀层，以得到细腻光滑涂层等。该设备还可配离子源，可满足多功能镀膜的需要。

优势：

?可以在几秒钟内从一种涂层技术切换到另一种涂层的灵活性
?在同一周期内可以具有多个涂层阶段（多层涂层）

应用领域

? ?

产品优势

高效

沉积速度快、基材温升低、膜层损伤小

结构紧凑

占地面积。子诩傻焦こ

精准

精确控制镀层的厚度

优质

薄膜纯度高、致密性好、成膜均匀性好

多样化

不同金属、合金、氧化物混合溅射

监控

本地或远程监控镀膜过程

技术参数

HCMA-1619

型号 | HCMA-1619
真空室尺寸 | Ф1600×H1900mm
制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等
电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶
真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统
真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵
加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热
充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路）
极限真空 | 6×10₋₄pa（空载、净室）
抽气时间 | 空载大气抽至5×10₋₃pa小于13分钟
保压率 | 1h≤0.6pa
工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分
控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC
备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

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